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在線擴(kuò)散/氧化退火石英舟上下料機(jī)生產(chǎn)工藝 將經(jīng)過擴(kuò)散工藝處理后石英舟內(nèi)的硅片，自動(dòng)取出裝入花籃。并將未經(jīng)過擴(kuò)散工藝處理的硅片自動(dòng)從花籃取出，裝入到石英舟，然后用機(jī)械手將石英舟搬入擴(kuò)散爐傳送帶，再傳入擴(kuò)散爐即進(jìn)行擴(kuò)散工藝，石英舟傳出擴(kuò)散爐依此循環(huán)。 工裝 硅片花籃 片數(shù)=100 籃尺距=4.76 石英舟 1200片 間距2.38 
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這款機(jī)器的核心在于陶瓷叉子和石英舟的匹配精度，陶瓷件我們使用了成千上萬件，裝配過程中我們總結(jié)出了一個(gè)消除累計(jì)誤差的經(jīng)驗(yàn)，即使在長達(dá)一百片的整體裝配中也能讓累計(jì)誤差控制在0.3mm以內(nèi)，為后續(xù)機(jī)器的提速和碎片率穩(wěn)定性做好了充足的準(zhǔn)備 生產(chǎn)工藝 將經(jīng)過擴(kuò)散工藝處理后石英舟內(nèi)的硅片，自動(dòng)取出裝入花籃。并將未經(jīng)過擴(kuò)散工藝處理的硅片自動(dòng)從花籃取出，裝入到石英舟，然后用機(jī)械手將石英舟搬入擴(kuò)散爐傳送帶，再傳入擴(kuò)散爐即進(jìn)行擴(kuò)散工藝，石英舟傳出擴(kuò)散爐依此循環(huán)。 工裝 硅片花籃 片數(shù)=100 籃尺距=4.76 石英舟 1200片 間距2.38 產(chǎn)能 上下片≥10000pcs/h 單臺(tái)碎片率 ≦0.01%（原碎片除外）A片 |
