|
管式PECVD上下料機(jī)生產(chǎn)工藝 將經(jīng)過管式PECVD工藝處理后石墨舟內(nèi)的硅片自動(dòng)裝載至硅片承載盒中或?qū)⑽唇?jīng)過管式PECVD工藝處理承載盒里的硅片自動(dòng)裝載至石墨舟內(nèi)，石墨舟由自動(dòng)機(jī)械手送入PECVD內(nèi)鍍膜處理。 工裝 硅片花籃片數(shù)=100/50 籃尺距=4.76MM 石墨舟 可定制工裝 產(chǎn)能 ≥6800pcs/h
這款機(jī)器重點(diǎn)在于機(jī)器人吸盤的精準(zhǔn)度技巧，采用不易變形的輕型材料加工，結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)上采用了對(duì)稱的均衡應(yīng)力的方法，使插片經(jīng)久耐用結(jié)構(gòu)穩(wěn)定 生產(chǎn)工藝 將經(jīng)過管式PECVD工藝處理后石墨舟內(nèi)的硅片自動(dòng)裝載至硅片承載盒中或?qū)⑽唇?jīng)過管式PECVD工藝處理承載盒里的硅片自動(dòng)裝載至石墨舟內(nèi)，石墨舟由自動(dòng)機(jī)械手送入PECVD內(nèi)鍍膜處理。 工裝 硅片花籃片數(shù)=100/50 籃尺距=4.76MM 石墨舟 可定制工裝 產(chǎn)能 ≥6800pcs/h 碎片率 ≦0.02%（原碎片除外）A片 |
