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鏈式在線熱氧上料/去PSG上料生產工藝 上料機是將花籃里面的硅片傳輸到刻蝕工藝主機，下料機是將刻蝕工藝主機產出的硅片傳輸到花籃里 工裝 硅片花籃道數=10道 花籃存儲=每邊8個 產能 ≥10000pcs/h 
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這款機器重點在于速度提升的技巧，每小時達到一萬片的產能還要保證穩(wěn)定性，因此在雙軌排片，導片入籃等方面不允許有問題，在AGV對接方面也有很高的效率，目前設備的各種性能行業(yè)領先。 生產工藝 上料機是將花籃里面的硅片傳輸到刻蝕工藝主機，下料機是將刻蝕工藝主機產出的硅片傳輸到花籃里 工裝 硅片花籃道數=10道 花籃存儲=每邊8個 產能 ≥10000pcs/h 單臺碎片率 ≦0.01%（原碎片除外）A片 選配 可對接AGV小車或手動上下籃具 |
